納米微位移傳感器主機(jī)

JKZC-CDM-0x系列微位移傳感器主機(jī)專為緊湊型應(yīng)用設(shè)計(jì)，內(nèi)置前置放大器、濾波器和信號(hào)調(diào)理電路，并針對(duì)適配探頭進(jìn)行驅(qū)動(dòng)優(yōu)化，適合于集成型應(yīng)用。

以多通道控制器為核心的電容式微位移傳感器用于對(duì)指標(biāo)有著要求的超精密測(cè)量應(yīng)用。內(nèi)置不同的工作模式來(lái)分別適應(yīng)以靜態(tài)指標(biāo)為主的計(jì)量型測(cè)量和以動(dòng)態(tài)指標(biāo)為主的實(shí)時(shí)應(yīng)用，以及兼顧動(dòng)態(tài)和靜態(tài)指標(biāo)的高帶寬超精密反饋控制系統(tǒng)應(yīng)用。多通道控制器內(nèi)置通道同步功能，支持最多6通道的同步測(cè)量，用于厚度檢測(cè)、旋轉(zhuǎn)偏差校正等應(yīng)用。

1、應(yīng)用領(lǐng)域

納米級(jí)運(yùn)動(dòng)測(cè)量

精密光學(xué)制造

超精密機(jī)床

超精密面型測(cè)量

微細(xì)形變測(cè)量

集成電路制造

2、技術(shù)特點(diǎn)

高精度

兼容動(dòng)態(tài)和靜態(tài)指標(biāo)

可設(shè)置多通道同時(shí)輸出和每個(gè)通道獨(dú)立輸出

體積小、重量輕，通過(guò)連接主體兼容多個(gè)通道

3、規(guī)格參數(shù)：

規(guī)格型號(hào)：

電氣特征：

其他: