描述：JKZC系列高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間
2026-04-21
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品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

高精度Hexapods

JKZC系列高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

高精度Hexapods

1、典型應(yīng)用

半導(dǎo)體封測(cè)

主動(dòng)光學(xué)

生物技術(shù)

視覺(jué)裝配

顯微操縱

光纖校準(zhǔn)

2、技術(shù)特點(diǎn)

亞納米級(jí)定位穩(wěn)定性

納米級(jí)閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨力

無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向

大負(fù)載

空間多自由度

各級(jí)真空兼容性

3、2D尺寸圖

高精度Hexapods

4、規(guī)格參數(shù)

支持非標(biāo)定制	JKZC-TM-130	單位
運(yùn)動(dòng)軸	X,Y,Z,θx/θY/θz
傳感器類型	絕對(duì)式圓光柵
驅(qū)動(dòng)類型	無(wú)刷直流電機(jī)
X/Y/Z閉環(huán)行程	±24/±24/±10	mm
θx/θY/θz閉環(huán)行程	±13/±13/±30	°
X/Y/Z方向上的最小位移	0.1	μm
θX/θY/θZ方向上的最小位移	0.5	arcsec
X/Y/Z單向重復(fù)定位精度	±0.25	μm
θX/θY/θZ單向重復(fù)定位精度	±0.3	arcsec
X/Y/Z向的最大速度	5	mm/s
θX/θY/θZ向的最大速度	14.3	deg/s
水平方向承載能力	10	kg
任意方向承載能力	1.5	kg
材料	鋁合金/不銹鋼
工作溫度	0-50	℃
尺寸	φ155x130	mm

5、適配控制器

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