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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
電容式微位移傳感器(平板型)
電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場(chǎng)變化時(shí)電容值的變化量來(lái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移的精確測(cè)量。可實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，保證了的測(cè)量分辨率、線性度以及高測(cè)量帶寬，滿足各種應(yīng)用場(chǎng)景下納米級(jí)的測(cè)量需求。
1、典型應(yīng)用
納米級(jí)運(yùn)動(dòng)測(cè)量
精密光學(xué)制造
超精密機(jī)床
超精密面型測(cè)量
微細(xì)形變測(cè)量
集成電路制造
2、技術(shù)特點(diǎn)
百微米至數(shù)千微米級(jí)測(cè)量范圍
超高精度(皮米級(jí)極限分辨率)、高線性度、低漂移
高帶寬高動(dòng)態(tài)測(cè)量
可針對(duì)真空及空間等特殊環(huán)境定制
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC06-100 | JKZC10-200 | 單位 | ||||
傳感器類型 | 電容式 | |||||
直徑 | 4.8 | 8.9 | mm | |||
探測(cè)區(qū)直徑 | 2.3 | 5.8 | mm | |||
長(zhǎng)度 | 6 | 6 | mm | |||
屏蔽厚度 | 0.9 | 1.5 | mm | |||
量程 | 100 | 200 | μm | |||
分辨率RMS | 2Hz | 0.02 | 0.04 | nm | ||
25Hz | 0.04 | 0.08 | nm | |||
1kHz | 0.11 | 0.21 | nm | |||
2kHZ | 0.15 | 0.30 | nm | |||
線性度 | 0.015 | 0.015 | % | |||
默認(rèn)帶寬 | 2 | 2 | kHZ | |||
重復(fù)性 | 0.21 | 0.39 | nm | |||
工作溫度范圍 | -20-100 | ℃ | ||||
材質(zhì) | Aluminum 6061/ Invar 36/ Stainless steel 316/ Super invar 32-5 | |||||
適用電纜 | 1.5m,2m, 2.5m | |||||
真空(何選) | 超真空兼容(5x10-9) | mbar | ||||
真空版型號(hào) | JKZC06-100-HV | JKZC12-200-HV | ||||
5、適配控制器
微型單通道傳感器主機(jī)CDM10OS
三通道傳感器主機(jī)CDM300
六通道傳感器主機(jī)CDM600
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