描述：JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運(yùn)動精度。

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類PRODUCT

我們相信好的產(chǎn)品是信譽(yù)的保證！

相關(guān)文章ARTICLES

致力于成為更好的解決方案供應(yīng)商！

詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺

JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運(yùn)動精度。

JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺

1、典型應(yīng)用

掃描電鏡(SEM)樣品操縱

主動光學(xué)

超分辨成像樣品移動

大范圍電子束直寫(EBL)

微納裝備及制造

集成電路制造與檢測

高真空樣品精度對準(zhǔn)及調(diào)姿

納米聚焦與掃描

顯微及納米CT

2、技術(shù)特點(diǎn)

超長行程:36mm

高分辨率:傳感器分辨率為12.5nm

超高精度:最小步長50nm

運(yùn)動速度:可達(dá)5mm/s

穩(wěn)定性:保持力可達(dá)3N

超高真空兼容性

運(yùn)動模式:支持開環(huán)與閉環(huán)

輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊，高可靠性

模塊化設(shè)計，摩擦單元可替換

3、2D尺寸圖

JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺

4、規(guī)格參數(shù)