

廠商性質(zhì)
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2024-12-10
+2024-11-20
+2022-03-17
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 北京精科 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
c
1、典型應(yīng)用
掃描電鏡(SEM)樣品操縱
主動(dòng)光學(xué)
超分辨成像樣品移動(dòng)
大范圍電子束直寫(xiě)(EBL)
微納裝備及制造
集成電路制造與檢測(cè)
高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿
納米聚焦與掃描
顯微及納米CT
2、技術(shù)特點(diǎn)
超長(zhǎng)運(yùn)動(dòng)行程:士5°
高分辨率:閉環(huán)分辨率為0.0175μrad
運(yùn)動(dòng)速度:可達(dá)3°/s
負(fù)載:500g
超高真空兼容性
運(yùn)動(dòng)模式:支持開(kāi)環(huán)與閉環(huán)
輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊,高可靠性
模塊化設(shè)計(jì),摩擦單元可替換
3、2D尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-NHR-60.5* | JKZC-NHR-77.5* | 單位 | |
傳感器類型 | 光柵編碼器(玻璃柵尺 | ||
行程 | ±5 | ° | |
最大負(fù)載 | 500 | g | |
旋轉(zhuǎn)中心(工作平臺(tái)) | 60.5 | 77.5 | mm |
驅(qū)動(dòng)類型 | 壓電陶瓷 | ||
角速度 | 3 | °/S | |
最小步長(zhǎng) | 0.5 | μrad | |
自重 | 150 | 150 | g |
尺寸(LxWxH) | 50x50x16.5 | 50x50x16.5 | mm |
工作溫度 | 10~50 | ℃ | |
電氣接口 | D-sub9 | ||
線纜長(zhǎng)度 | 2 | m | |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | ||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10-9) | mbar | |
5、適配控制器

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