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JKZC-TM系列 高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

高精度晶圓對位平臺采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有速度快、剛度高、承載能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。

高精度旋轉(zhuǎn)平臺基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，提供連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)保證納米級分辨率，擁有的可拓展性和可集成性。

高速納米掃描臺基于音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)和高精度導(dǎo)向模組實(shí)現(xiàn)納米級超高分辨力的定位/掃描直線運(yùn)動(dòng)，內(nèi)置光柵位移傳感器，具有納米級運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)精度，同時(shí)兼具高速、高動(dòng)態(tài)位移定位和掃描功能。

專為芯片-品圓鍵合(Dle-to-Wafer,D2W)應(yīng)用場景而設(shè)計(jì)，具備高精度、高動(dòng)態(tài)吶應(yīng)、且可集成于多種封裝設(shè)備的納米級運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)。

任何位移臺都有6個(gè)自由度:3個(gè)分別沿著x、y、z軸方向的平移自由度，另外3個(gè)則是圍繞x、yz軸的旋轉(zhuǎn)自由度(如圖1)。