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單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運(yùn)動精度。

電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場變化時電容值的變化量來實現(xiàn)納米級位移的精確測量。可實現(xiàn)非接觸測量，保證了的測量分辨率、線性度以及高測量帶寬，滿足各種應(yīng)用場景下納米級的測量需求。

電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場變化時電容值的變化量來實現(xiàn)納米級位移的精確測量?？蓪崿F(xiàn)非接觸測量，保證了的測量分辨率、線性度以及高測量帶寬，滿足各種應(yīng)用場景下納米級的測量需求。

二維高速壓電偏擺鏡 采用差分驅(qū)動與差分傳感設(shè)計，通過負(fù)載平面的兩軸(θx,θy)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動實現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿，輸出扭矩大，響應(yīng)速度快，控制精度高。

JKZC系列 高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動平臺可實現(xiàn)多自由度運(yùn)動，動態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

JKZC-IM系列高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動平臺可實現(xiàn)多自由度運(yùn)動，動態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。