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廠商性質(zhì)
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2024-12-10
+2024-11-20
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 北京精科 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
JKZC-UVZ-10B三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺
音圈電機驅(qū)動三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺，屬于三軸并聯(lián)運動機構(gòu)。通過三個線性移動軸的并聯(lián)運動實現(xiàn)Z軸線性運動和θxθy軸旋轉(zhuǎn)運動。可以實現(xiàn)單軸直線運動、兩軸線性插補、兩軸圓弧插補、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運動。
1、典型應(yīng)用
品圓檢測與量測
硅片對準(zhǔn)與定位
顯微操作
視覺伺服
大視場成像
半導(dǎo)體封裝。
芯片與器件測試
光學(xué)對準(zhǔn)與操作
MEMS制造與檢測
激光加工
2、技術(shù)特點
高精度:音圈電機具有較高的定位精度和重復(fù)定位精度，可以滿足高精度應(yīng)用的需求。
高響應(yīng)速度:音圈電機的響應(yīng)速度快，可以快速響應(yīng)控制信號，實現(xiàn)快速運動。
高可靠性:音圈電機的結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，具有較高的可靠性。
低噪音:音圈電機的運行噪音低，適合在需要低噪音的場合使用。
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-UVZ-10B | ||
運動軸 | θx,θY,Z | |
驅(qū)動類型 | 音圈電機 | |
θx/θY偏轉(zhuǎn)角度 | ±12.5 | mrad |
Z閉環(huán)行程 | 3 | mm |
θx/θY重復(fù)定位精度 | 15 | μrad |
Z向重復(fù)定位精度 | 15 | nm |
豎直最大負(fù)載 | 1 | kg |
整定時間 | ≤100 | ms |
無負(fù)載諧振頻率 | 160 | HZ |
傳感器類型 | 光柵編碼器 | |
自重 | 8 | kg |
尺寸(LxWxH) | φ280x72 | mm |
工作溫度 | -20-100 | ℃ |
電氣接口 | D-sub9(可定制) | |
線纜長度 | 2 | m |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10") | mbar |
5、適配控制器
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