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型號:
JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺

描述:六自由度調(diào)臺可實現(xiàn)多自由度運動,動態(tài)范圍大,重載穩(wěn)定性強,任意指定轉(zhuǎn)動中心,可滿足各種工業(yè)需求,適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 更新時間

    2026-04-21
  • 訪問量

    81
詳細介紹
品牌北京精科產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺

六自由度調(diào)臺可實現(xiàn)多自由度運動,動態(tài)范圍大,重載穩(wěn)定性強,任意指定轉(zhuǎn)動中心,可滿足各種工業(yè)需求,適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺 

1、典型應(yīng)用

半導(dǎo)體封測

主動光學

生物技術(shù)

視覺裝配

顯微操縱

光纖校準

2、技術(shù)特點

亞納米級定位穩(wěn)定性

納米級閉環(huán)運動分辨力

無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向

大負載

空間多自由度

各級真空兼容性

3、2D尺寸圖

JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺 


4、規(guī)格參數(shù)

支持非標定制

JKZC-TM-350

單位

運動軸

X,Y,Z,θX,θY,θZ


傳感器類型

絕對式圓光柵


驅(qū)動類型

直流無刷電機


X/Y/Z閉環(huán)行程

±50/±50/±25

mm

θX/θY/θZ閉環(huán)行程

±12.5/±12.5/±25


X/Y/Z位移分辨率

0.5

μm

θX/θY/θZ位移分辨率

3.5

μrad

X/Y/Z重復(fù)定位精度@200kg負載

±1.5

μm

θX/θY/θZ重復(fù)定位精度@200kg負載

±2

μrad

水平方向承載能力

300

kg

任意方向承載能力

50

kg

材料

鋁合金


工作溫度

0-50

尺寸

φ450x350

mm


5、適配控制器

JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺


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