描述：Z軸納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃搭功能。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間
2026-04-21
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品牌	北京精科	產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-ST-Z-50 Z軸納米定位/掃描平臺(tái)

Z軸納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃搭功能。

JKZC-ST-Z-50 Z軸納米定位/掃描平臺(tái)

1、典型應(yīng)用

光學(xué)對(duì)準(zhǔn)

納米壓印

顯微成像/操縱

光柵刻寫

雙光子聚合

光學(xué)移相

晶圓檢測(cè)

表面檢測(cè)

測(cè)量技術(shù)

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點(diǎn)

超高定位精度

高動(dòng)態(tài)

無(wú)摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

超高真空兼容性

多運(yùn)動(dòng)模式:定位/掃描

3、2D尺寸圖

JKZC-ST-Z-50 Z軸納米定位/掃描平臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-ST-Z-50	單位
運(yùn)動(dòng)觸數(shù)	1
驅(qū)動(dòng)類型	壓電陶瓷
閉環(huán)行程	50	μm
分辨率	0.35	nm
定位精座	5	nm
無(wú)負(fù)載諧振頻率	500	Hz
最大負(fù)載	0.5/1/5/定制	kg
傳感器類型	電容傳感器
尺寸(LxWxH)	55x45x18.3	mm
白重	208	g
電氣接口	D-sub9/可定制
工作泗度	-20-80	℃
屏蔽線纜長(zhǎng)度	2	m
材料	鋁合金/鈦合金
真空(可選)	超真空兼容(5x10")	mbar