描述：Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃搭功能。

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應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺

Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃搭功能。

JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺

1、典型應(yīng)用

光學(xué)對準(zhǔn)

納米壓印

顯微成像/操縱

光柵刻寫

雙光子聚合

光學(xué)移相

晶圓檢測

表面檢測

測量技術(shù)

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點

超高定位精度

高動態(tài)

無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

超高真空兼容性

多運動模式:定位/掃描

3、2D尺寸圖

JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺

4、規(guī)格參數(shù)