描述：JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺基于做納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。

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應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺

JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺基于做納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺

1、典型應(yīng)用

光學(xué)對準(zhǔn)

納米壓印

罡微成像/操縱

表面檢測

高密度存儲

則量技術(shù)

表面檢測

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點：

亞納米級分辨率

超高定位精度

無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

超高真空兼容性

高速、高動態(tài)

多運動模式:定位/掃描

3、20尺寸圖

JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺

4、規(guī)格參數(shù)