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二維高速壓電偏擺鏡 采用差分驅(qū)動與差分傳感設(shè)計，通過負載平面的兩軸(θx,θy)旋轉(zhuǎn)運動實現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿，輸出扭矩大，響應(yīng)速度快，控制精度高。

JKZC系列 高精度六自由度并聯(lián)運動平臺可實現(xiàn)多自由度運動，動態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

JKZC-IM系列高精度六自由度并聯(lián)運動平臺可實現(xiàn)多自由度運動，動態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

JKZC-TM系列 高精度六自由度并聯(lián)運動平臺可實現(xiàn)多自由度運動，動態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

高精度晶圓對位平臺采用音圈電機直接驅(qū)動的并聯(lián)機械結(jié)構(gòu)設(shè)計，具有速度快、剛度高、承載能力強等優(yōu)點。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。

高精度旋轉(zhuǎn)平臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復(fù)合納米運動技術(shù)，提供連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時保證納米級分辨率，擁有的可拓展性和可集成性。