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  • 高精度晶圓對(duì)位平臺(tái)
    高精度晶圓對(duì)位平臺(tái) 高精度晶圓對(duì)位平臺(tái)采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),具有速度快、剛度高、承載能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對(duì)位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。
  • 高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
    高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái) 高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù),提供連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)保證納米級(jí)分辨率,擁有的可拓展性和可集成性。
  • 高速納米掃描臺(tái)
    高速納米掃描臺(tái) 高速納米掃描臺(tái)基于音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)和高精度導(dǎo)向模組實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超高分辨力的定位/掃描直線運(yùn)動(dòng),內(nèi)置光柵位移傳感器,具有納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)精度,同時(shí)兼具高速、高動(dòng)態(tài)位移定位和掃描功能。
  • 晶圓面內(nèi)對(duì)位臺(tái)
    晶圓面內(nèi)對(duì)位臺(tái) 專為芯片-品圓鍵合(Dle-to-Wafer,D2W)應(yīng)用場景而設(shè)計(jì),具備高精度、高動(dòng)態(tài)吶應(yīng)、且可集成于多種封裝設(shè)備的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)。
  • 精密位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
    精密位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) 任何位移臺(tái)都有6個(gè)自由度:3個(gè)分別沿著x、y、z軸方向的平移自由度,另外3個(gè)則是圍繞x、yz軸的旋轉(zhuǎn)自由度(如圖1)。
  • 精密運(yùn)動(dòng)位移臺(tái)
    精密運(yùn)動(dòng)位移臺(tái) 精密運(yùn)動(dòng)位移臺(tái)基于步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)和高精度導(dǎo)向模組實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超高分辨力的定位/掃描直線運(yùn)動(dòng),內(nèi)置光柵位移傳感器,結(jié)構(gòu)緊湊,通過自主研發(fā)的高性能納米伺服系統(tǒng)獲得優(yōu)異的閉環(huán)控制效果,具有高精度、高速、高動(dòng)態(tài)位...
  • 絕對(duì)式光柵尺傳感器
    絕對(duì)式光柵尺傳感器 JKZC系列絕對(duì)式納米光柵尺傳感器基于阿米精控自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)量測系統(tǒng)設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)非接觸測量,保證了的測量分辨率,滿足各種應(yīng)用場景下納米級(jí)的測量需求。
  • 納米微位移傳感器主機(jī)
    納米微位移傳感器主機(jī) JKZC-CDM-0x系列微位移傳感器主機(jī)專為緊湊型應(yīng)用設(shè)計(jì),內(nèi)置前置放大器、濾波器和信號(hào)調(diào)理電路,并針對(duì)適配探頭進(jìn)行驅(qū)動(dòng)優(yōu)化,適合于集成型應(yīng)用。
  • 音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)偏擺鏡BSM
    音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)偏擺鏡BSM 音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)偏擺鏡BSM采用差分驅(qū)動(dòng)與差分傳感設(shè)計(jì),通過負(fù)載平面的兩軸(θx,0y)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿,輸出扭矩大,控制精度高,適用于超遠(yuǎn)程大口徑光束的快速指向、掃描及跟蹤。
  • JKZC-CC600C數(shù)顯式光柵垂直度檢測儀
    JKZC-CC600C數(shù)顯式光柵垂直度檢測儀 JKZC-CC600C數(shù)顯式垂直度檢測儀是精密的測量裝置,數(shù)據(jù)操作直觀,電動(dòng)控制行程使示值更穩(wěn)定,數(shù)據(jù)直觀,垂直度檢測采用雙位測量的絕對(duì)測量方法具有《水平儀的零位檢定器》,《直角尺檢查儀》多功能的使用...
  • PEA-100Z型直流海纜高壓空間電荷測量系統(tǒng)
    PEA-100Z型直流海纜高壓空間電荷測量系統(tǒng) PEA-100Z型直流海纜高壓空間電荷測量系統(tǒng)該裝置用于在不同極化時(shí)間、不同場強(qiáng)工況下,對(duì)絕緣樣片進(jìn)行空間電荷檢測,精準(zhǔn)分析電荷分布、積累、遷移及消散特性,評(píng)估絕緣材料的電荷輸運(yùn)規(guī)律和耐電老化性能,為...
  • THMSG-800A地質(zhì)流體包裹體冷熱臺(tái)
    THMSG-800A地質(zhì)流體包裹體冷熱臺(tái) THMSG-800A測量地質(zhì)流體包裹體的均一化溫度和冰點(diǎn)溫度是地質(zhì)流體包裹體研究中一項(xiàng)重要的內(nèi)容。電動(dòng)地質(zhì)流體包裹體冷熱臺(tái)是專門為此目的而設(shè)計(jì)的。高導(dǎo)熱的銀質(zhì)加熱臺(tái)、高精度測溫鉑電阻和特殊的光孔設(shè)計(jì),...
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