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JKZC-XY-16B 雙軸長行程壓電滑臺
JKZC-XY-16B雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術,具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
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JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺
JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術,具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
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JKZC-XY-100A雙軸長行程壓電滑臺
JKZC-XY-100A 雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術,具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
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JKZC-Z-10AT長行程壓電升降臺
JKZC-Z-10AT長行程壓電升降臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術,具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
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大口徑快反鏡
大口徑快反鏡采用差分驅(qū)動與差分傳感設計,通過負載平面的兩軸(θx,θy)旋轉(zhuǎn)運動實現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿,輸出扭矩大,響應速度快,控制精度高,動態(tài)性能好。
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單軸長行程壓電滑臺
單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術,具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
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電容式微位移傳感器(平板型)
電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場變化時電容值的變化量來實現(xiàn)納米級位移的精確測量??蓪崿F(xiàn)非接觸測量,保證了的測量分辨率、線性度以及高測量帶寬,滿足各種應用場景下納米級的測量需求。
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電容式微位移傳感器(圓柱型)
電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場變化時電容值的變化量來實現(xiàn)納米級位移的精確測量??蓪崿F(xiàn)非接觸測量,保證了的測量分辨率、線性度以及高測量帶寬,滿足各種應用場景下納米級的測量需求。
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二維高速壓電偏擺鏡
二維高速壓電偏擺鏡 采用差分驅(qū)動與差分傳感設計,通過負載平面的兩軸(θx,θy)旋轉(zhuǎn)運動實現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿,輸出扭矩大,響應速度快,控制精度高。
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高精度Hexapods
JKZC系列 高精度六自由度并聯(lián)運動平臺可實現(xiàn)多自由度運動,動態(tài)范圍大,承載大,穩(wěn)定性強,任意指定轉(zhuǎn)動中心,可滿足各種工業(yè)需求,適應大氣和真空環(huán)境。廣泛應用于顯微操縱、生物技術、半導體制造等。
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高精度JKZC-IM系列
JKZC-IM系列高精度六自由度并聯(lián)運動平臺可實現(xiàn)多自由度運動,動態(tài)范圍大,承載大,穩(wěn)定性強,任意指定轉(zhuǎn)動中心,可滿足各種工業(yè)需求,適應大氣和真空環(huán)境。廣泛應用于顯微操縱、生物技術、半導體制造等。
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高精度JKZC-TM
JKZC-TM系列 高精度六自由度并聯(lián)運動平臺可實現(xiàn)多自由度運動,動態(tài)范圍大,承載大,穩(wěn)定性強,任意指定轉(zhuǎn)動中心,可滿足各種工業(yè)需求,適應大氣和真空環(huán)境。廣泛應用于顯微操縱、生物技術、半導體制造等。
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